¼Ò¼Ó¼¾ÅÍ : °æÈñ´ëÇб³ ±Û·Î¹ú Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸¼¾ÅÍ(GRRC)
ȸ»ç¸í : (ÁÖ)¸ð¸¸
´ëÇ¥ : À±Ã¢¸ð
ºÐ¾ß : ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ
ȸ»çÁÖ¼Ò : °æ±â ¾È»ê½Ã »ó·Ï±¸ ÇѾç´ëÇзΠ55, »êÇп¬Çù·Â°ü 304È£-2-003
ȨÆäÀÌÁö : www.itechu.co.kr
ÀüȹøÈ£ : 070-4918-2511
ȸ»ç ¼Ò°³
- ¿øÀÚÃþ ÁõÂø (ALD) Àåºñ °³¹ß ¹× Á¦Á¶¿Í ALD °øÁ¤ °³¹ß ¹× °øÁ¤¼ºñ½º (ALD ÇÁ·Î¼¼½º ÄÁ¼³ÆÃ), ALD ¹Ú¸·ÁõÂø ¼ºñ½º, CVD Àåºñ °³¹ß ¹× Á¦Á¶¸¦ ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÁÖ¿ä»ý»êÇ°(Simple ALD)
- »êȹ° Àü¿ë ALD Àåºñ
- ¿¬±¸ ÃÖÀûÈ (¼ÒÇüÈ, Àú°¡Çü)
- ÃÖ´ë¿Âµµ 200¡É, Precursor ÃÖ´ë 3EA, Reactant H2O
|