소속센터 : 경희대학교 글로벌 차세대 반도체 연구센터(GRRC)
회사명 : (주)유진테크
대표 : 엄평용
분야 : 반도체 제조용 기계 및 장비 제조업
회사주소 : 경기도 이천시 호법면 이섭대천로 28
전화번호 : 031-323-5700
회사 소개
- NITRIDE SOLUTION PROVIDER로 시작한 유진테크는 현재 국내에서 유일한 SINGLE-TYPE 웨이퍼 공정 개발 업체이다. 최첨단 반도체 제조에 필요한 반도체 전 공정 장비로서 유진테크의 대표적인 제품인 BLUE JAY SYSTEM은 이미 세계 굴지의 반도체 소자업체의 검증을 받아 반도체 전 공정 생산 라인에서 핵심 공정 장비로 사용되고 있다. 더 나아가 첨단의 공정에 적용되는 제품군의 다양화를 통해 가까운 미래에는 DIFFUSION SOLUTION PROVIDER로 성장하기 위해 연구개발에 매진하고 있다.
주요생산품(BlueJay™)
- 다중 챔버, 단일 웨이퍼 플랫폼의 온도 균일성 제어 및 조정 가능한 공정 가스 흐름은 고유한 공정 유연성, 우수한 필름 두께 균일성 및 반복성, 낮은 열 예산 및 도구 매칭 용이성 제공
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