소속센터 : 성균관대학교 차세대 반도체 소재 공정 연구센터(GRRC)
회사명 : (주)이큐테크플러스
대표 : 김용원
분야 : 반도체 평가용 증착웨이퍼, 전력반도체용 산화막 장비
홈페이지주소 : www.eqtechplus.com
회사주소 : 경기도 수원시 권선구 산업로156번길 142-10 수원벤처밸리2 B동 514호
전화번호 : 031-5182-8060
회사 소개
- 당사는 반도체 소재, 장비, 공정 등 각 분야 20년 이상 경력의 엔지니어들의 경험과 노하우를 바탕으로 2017년 설립, 반도체 평가용 증착웨이퍼 제조 판매, 반도체용 산화막 증착 모듈, 전력반도체용 산화막 장비 생산을 주요 사업으로 하고 있다.
주요 생산품(테스트용 필름웨이퍼)
- 증착웨이퍼는 실리콘웨이퍼위에 화학적 막질을 입혀 반도체적 특성을 가지게 하는 반도체 주요 전(前)공정으로 반도체 장비회사나 Etching장비, CMP Slurry 제조회사에서 제품의 성능을 평가하기 위해 테스트용으로 사용되는 웨이퍼
300mm Oxide, Nitride, P-Teos, a-Si 등
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