회사명 : 나노화인테크(주)
분야 : 의료, 정밀 및 과학기기
홈페이지주소 : www.nanofine.co.kr
회사주소 : 경기도 용인시 기흥구 흥덕1로 13, 타워동 22층 12호
전화번호 : 031-340-3581
회사 소개
- 일본 Hitachi High-Tech Science사 집속 이온빔 장치(FIB : Focused Ion Beam System)의 한국 대리점으로 영업 및 설치 유지보수, 관련기술 지원 업무를 수행
- 최근 나노테크놀로지의 급속한 발전과 함께 부각되고 있는 이온빔 장체를 최고의 사양으로 공급
제품 소개(SIR 7000 FIB)
- 수정 정밀도가 기존의 15 nm(3σ)에서 10 nm(3σ)로 향상
- 신형 Ion Beam 광학계의 채용에 의해 Ion Beam 조사위치의 안정성이 향상
- Beam을 극미세하게 인출시켜 미세한 결함 형상도 세부적으로 관찰, Defect수정이 훨씬 용이
- 그리고 Chamber Unit에 항온 시스템을 탑재하여 온도 변화를최소화시켜 온도로 인한 Drift를 절감
- 반도체 Lay Out 설계에 이용되는 EB의 CAD Data로부터 Defect 위치의 정상적인 Pattern을 추출하여 결함 위치에
Overlap시킴으로 정상적인 Pattern에 가까운 형상으로 수정
- 특히 OPC 등의 복잡한 형상을 수정할 때에 보다 정상적인 Pattern에 가까운 형상으로 수정
- Photo Mask용 SMIF반송 System을 채용하였습니다. SMIF Pod에 의해 옮겨져 온 Photo Mask를 Clean도가 높은 반송
기구를 통해서 Chamber내에 반송할 수가 있기 때문에 Photo Mask에의 Particle(미세한 오염물)의 부착 방지 가능
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