회사명 : (주)제이티
분야 : 반도체 제조장비
홈페이지주소 : www.jtcs.co.kr
회사주소 : 경기도 성남시 분당구 판교로 228번길 15, 3동 8층
전화번호 : 031-8016-8260
회사소개
- 제이티는 반도체 및 평판디스플레이(FPD, Flat Panel Display) 제조에 관련한 장비, 계측기, 부품, Chemical을 공급하는 전문업체이다.
제품소개([KITZSCT] BIS(IGS))
- 특징
• 집적 Valve본체를 Plug in구조로 하여 Center Lock방식을 채용하고 있습니다.
• 한번의 동작으로 기기의 탈착과 동시에 신뢰성이 높은 조임 방식을 택하고 있습니다.
• Block사이는 특수한 U자 형태의 유로를 가진 중간 Joint로 결합되어 있으므로 Block사이는 기계적인 Seal部가 없습니다.
• 시공 및 설치 시 외력에 대한 강성이 뛰어나며 Leak에 대해 극도의 신뢰성을 가지고 있습니다.
• Process Flow는 최단거리이며, 내용적(內容積)의 최소화를 실현하였습니다.
• BIS-F에서는 새롭게 Base rail방식을 채용하고 상부의 구성품을 Flange식으로 하여 한 방향(상부)에서 탈착이 가능합니다.
• 한 방향에서의 탈착이 가능하므로 Flow의 변환·증설·Joint류의 교환이 간소화됩니다.
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