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Home > 참여기업 > 기업제품소개   Dry Etcher - (주)아이씨디   글쓴이 : 이대용     날짜 : 13-10-25 10:17     조회 : 700     트랙백 주소    참여기업 우수제품 소개샘플_20131024(아이씨디).hwp (24.0K), Down : 15, 2013-10-25 10:17:52 회사명 : (주)아이씨디 분야 : Plasma 기술 홈페이지주소 : http://www.icd.co.kr/ 회사주소 : 경기도 안성시 대덕면 소내리 321-1 전화번호 : 031-678-3333 Features 1. Available glass size : 1st Gen ~ 8th Gen. 2. PE, RiE, DCCP Type 3. Cluster type system Applications 1. Pas SiNx / Gi SiNx Etch 2. a-Si Etch 3. n+ Etch 4.Continuous Dry Etch for 4mask   (SD/n+/a-Si Dry Etch > halftone mask Ashing > SD metal dry Etch > n+ Dry Etch) Benefits 1. High throughput 2. High Uptime - Reliable System 3. Easy Maintenance