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Home >   (주)제니어스   글쓴이 : 이대용     날짜 : 18-03-16 19:45     조회 : 562     트랙백 주소 기업명 : (주)제니어스 분야 : 진공밸브, 컨트롤러 회사주소 : 경기도 수원시 영통구 덕용대로 1556번길 16, 505호 전화번호 : 031-303-8765 지원센터 : 단국대학교 광 에너지 소재 연구센터(GRRC) 지원내용 - (주)제니어스에서 제작된 prototype 구조물을 GRRC 센터에서 보유한 진공증착장비에 적용하여 실제로 잘 동작하는지 검증할 수 있도록 기술지원 - 면소스 증발장치용 부품/구조물의 형태를 변경하여, 마스크 면으로부터의 거리가 여러 단계로 조절이 가능하도록 설계하고 연구실의 증착기에 맞게 작동할 수 있도록 세부 스펙을 조절 지원결과 - 면소스의 재질, 패터닝, 마스크와의 거리, 증발 온도 등에 따른 실험을 진행하고 이에 대한 결과를 얻게됨 - 제작된 패턴을 GRRC 센터 내 surface profiler, AFM 등을 통해 분석하고 자료를 공유함 - 차세대 초 고해상도 패턴이 기술인 면소스 장비 개발에 대한 노하우를 공휴하게 되어, 관련된 기술력을 확보